İTAM - MIDAS Optoelektronik Lab.

Elektrik Elektronik Mühendisliği Bölümü kapsamında aygıt fabrikasyonu, optoelektronik karakterizasyon ve test laboratuvarı ile nano-malzeme (grafen, geçiş metal kalkojenler, MXene gibi) büyütme laboratuvarı olmak üzere nanoelektronik ve fotonik alanında faaliyet gösteren tam donanımlı üç ayrı araştırma laboratuvarı mevcuttur. Hâlihazırda Mikro-Nano Aygıt ve Sistemler Araştırma Grubu (MIDAS) tamamlanan ve devam eden 3 TÜBİTAK araştırma projesi ile 5’ten fazla BAP projesi kapsamında çalışılmaktadır. 4 doktora öğrencisi, 8 yüksek lisans öğrencisi ve 4 lisans öğrencisi aktif olarak bu laboratuvarlarda çalışmaktadır. Elektrik Elektronik Mühendisliği Bölümünde Optik, Elektrooptik ve Fotonik alanında faaliyet gösteren tam donanımlı ve öğrencilerin kullanımına açık olacak olan üç ayrı araştırma laboratuvarı mevcuttur. Bölüm bünyesinde bulunan tam teçhizatlı MIDAS (Micro/nano Devices and Systems) laboratuvarı temiz oda şartlarında, aygıt üretimi için gerekli büyütme ve fabrikasyon yeteneğine sahip standart temiz oda ortamı ve cihazları barındırmaktadır. Bunlar arasında mikro-nanoaygıt yapımında kullanılan başlıca cihazlar olarak Atomik Katman Kaplama (ALD/PEALD), Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD), Reaktif İyon Aşındaırma (ICP-RIE), Termal Kaplama, Reaktif İyon Aşındırma (ICP-RIE), SUSS MicroTec MJB4 Maske Hizalayıcı, vb. mevcuttur. Ayrıca üretilen mikro-nanoaygıt ve malzemelerin (FET, optoelektronik aygıtlar, sensör aygıtlar, optik dalga kılavuzları, vb.) ölçüm ve performanslarının değerlendirildiği üst düzey optoelektronik karakterizasyon araştırma laboratuvarımız faaliyet göstermektedir. Laboratuvar dâhilinde üretilen malzeme, yapı ve aygıtların değerlendirilmesinde kullanılan başlıca teçhizatlar olarak Konfokal Raman Spektroskopisi, Atomik Kuvvet Mikroskopisi, Mekanik Profilometre, Fourier Dönüşümlü Kızılötesi Spektroskopisi, Optik mikroskoplar, Özgün Manuel Optoelektronik Prob İstasyonu, SR830-Lock in Amplifier, Prizma bağdaştırıcı- Metricon 2010/M, Özgün fiber ve dalga kılavuzu ölçüm düzeneği ve Ayarlanabilir Lazer Kaynağı (300 -1400 nm) – NKT sayılabilir.